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为了生产纯水,通常使用具有去离子技术(DI 或 EDI)的系统。在使用去离子滤芯过滤前,使用反渗透模块进行预处理是很常见的,尤其在使用纯水作为生产超纯水的给水时,建议使用反渗透模块进行预处理。此外,可以使用活性炭和/或深层过滤器过滤,具体视给水质量而定。由于膜过滤会降低流速(RO 和 EDI 技术均使用膜过滤),因此通常需要使用内部或外部储罐来补偿流速。水从储罐流出后,会作为给水被引至仪器或分配单元。